窒化アルミ(AlN)ヒータ

窒化アルミ(AlN)ヒータ


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  1. 高速昇温、高速冷却可能
  2. 金属アルミに近い熱伝導率 : 熱伝導率 180W/m・K以上
  3. 熱膨張率が小さい : 熱膨張係数 4.6x10-6/℃ (30~800℃)
  4. 電気絶縁性が高い : 体積抵抗率 1013Ω・cm以上
  5. 優れた耐食性
特徴 加熱対象
フレキ
シブル
面状 真空
対応
配管・
容器
金属 液体 気体
× ×

窒化アルミ(AℓN)ヒータ

窒化アルミ(AℓN)ヒータ

  1. 各種材料の急速昇降温試験
  2. 小径ウェハー、小型ガラス基板の加熱
  3. 電子部品の加熱試験・検査
特徴 加熱対象
フレキ
シブル
面状 真空
対応
配管・
容器
金属 液体 気体
× × (容器) × ×

Hi-Watty 急速昇降温ユニット 5大特長

1. 急速昇降温が可能
・昇温速度:約10sec/100℃(無負荷時)
・降温速度:約40sec/100℃(無負荷時、200℃以上)

2. 最高使用温度600℃

3. 卓上にも設置できるコンパクト設計
・本体:W220×D240×H173
・専用制御ユニット:W200×D300×H235

4. 空冷方式を採用
・冷却水を準備する必要はありません。

5. 面倒な配線の接続は不要
・本体と専用制御ユニットは付属の専用ケーブルで接続するのみ
・設備側で電源を用意頂ければ準備完了

仕様

型式 HWH100
ヒータ定格 5kW
最高使用温度 600℃
ヒートステージ 110㎟
専用サセプター 110㎟×2t
昇温速度 約10sec/100℃(無負荷時)
降温速度 約40sec/100℃(無負荷時、200℃以上)
冷却方式 内蔵ファンによる空冷
外装温度 50℃以下
外形 W220×D240×H173
重量 5.2kg
型式 HWC100
電源 200V 30A
制御機能 ①プログラム機能:
自由な昇降温サイクルの繰り返し
②勾配機能:
設定温度到達までの時間指定
付属品 ①本体/制御ユニット接続用専用ケーブル
②設定用PCソフト
外形 W200×D300×H235
重量 7.7kg

昇降温特性

昇降温特性

使用上のご注意

本製品は短時間で急速に昇温します。ヒータが短寿命になるだけでなく火傷、感電、火災等の重大な事故を引き起こす可能性がありますので、以下の点をしっかり守ってお使い下さい

  • 使用電圧、使用温度など、決められた仕様の範囲内でお使い下さい。
  • 発熱体の表面やリード線部にキズ等つけないようご注意下さい。
  • 急激な温度変化による被加熱物の反り、変形には十分ご注意下さい。
  • 長時間お使いになる際は、周囲に耐熱性の低いものなどを置かぬよう、十分にご注意ください。

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