ヒートエクスチェンジャー


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  1. 半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/加熱
  2. 各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱
  3. 熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適
特徴 加熱対象
フレキ
シブル
面状 真空
対応
配管・
容器
金属 液体 気体
× × × × ×
  • EP管のみを使用したクリーン対応品
  • 小型・軽量・コンパクトで高効率
  • 熱電対・サーモスタット標準装備
  • 入口/出口継手サイズは選択可能

ヒートエクスチェンジャー4大特長

  1. EP管のみを使用したクリーンな構造
    ・ 継手や配管など接ガス部はオールステンレス(SUS316L)製。
    ・ 被加熱ガスは、ヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。
  2. 小型・軽量で高効率
    ・ 本体最小サイズは□80mm×L102mm、本体重量は最小1.0kg~と小型・軽量。
     シリーズ化により最大流量100 L/min、最高300℃まで使用可能な製品をラインアップ。
  3. 熱電対、サーモスタットを標準装備
    ・ 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。
  4. 入口/出口の継手は変更可能
    ・ 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
    ・ 1/4~1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。

使用例

仕様

※下記以外の仕様についても、お気軽にお問合せ下さい。

型式 WEX-S1 WEX-M1 WEX-L1
最高使用温度 200℃ 200℃ 300℃
定格流量 ~10L/min ~50L/min ~100L/min
定格容量 130W 560W 1300W
最大動作圧力 0.5MPa
標準継手 UJR 1/4 Female UJR 3/8 Female
接ガス部材質 SUS316L(WEP仕様)
リークレート 1×10-10 Pa・m3/sec以下
所要電源 100/200V
熱 電 対 Kタイプ クラス2
サーモスタット ディスク型(NC) ブロック型(NC)
本体外形寸法 75×75×98 125.5×100×115 178×150×165
本体重量 約1.0kg 約2.0kg 約4.0kg

参考外形図(WEX-S1)

温度特性(WEX-M1)

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