弊社相模原事業に設置しておりますALD成膜装置デモ機を使用した受託成膜サービスを実施しております。製品版2inch成膜装置と同一の装置構成を備え、装置導入前の実験やテスト成膜、プリカーサ評価等様々な用途でご利用頂けます。成膜後の各種解析業務も承っております。是非ご活用ください。
1) 弊社技術者が対応し、レシピ設計やパラメータ設定のサポートを致します。