ガス加熱用高効率ヒータ
半導体・FPD製造用高純度ガス供給/加熱
各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱
熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適
1.S/M/LタイプはEP管を使用した構造
・継手や配管など接ガス部はオールステンレス(SUS316L)製。
・被加熱ガスはヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。
2.小型・軽量で高効率
・ 本体最小寸法は70mm×32㎜×42mm、本体重量は最小280gと超小型軽量。
・シリーズ化により最小流量5L/min~最大流量100 L/min、最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。
3.熱電対、サーモスタットを標準装備
・温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。
4.入口/出口の継手は変更可能
・標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
・1/4~1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。
・手のひらサイズ以下の超小型ガス加熱用ヒータを実現。低流量で250℃の高温域をカバーします。
・UL対応ガス加熱用ヒータを販売開始。
仕様 | |
〇超小型WEX₋SS | 〇WEX-UL-S2-S(UL対応) |
◆寸法:70×32×42㎜ |
◆寸法:98×75×75mm ◆使用温度:200℃ ◆定格流量:10L/Min ◆定格容量:130W ◆温度センサ:K熱電対 ◆過昇温防止:サーモスタット付 ◆重量:1000g~ ◆UL499対応 FileNo,E478998 |
タイプ | Sタイプ | Mタイプ | Lタイプ | ||
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WEX-S* -2* | WEX-S* -3* | WEX-M* -2* | WEX-M* -3* | WEX-L* -3* | |
加熱可能流体 | 不活性ガス | ||||
最高使用温度 | 200℃ | 300℃ | 200℃ | 300℃ | 300℃ |
定格流量 | 〜10L/min | 〜50L/min | 〜100L/min | ||
定格容量 | 130W | 190W | 400W | 560W | 1300W |
最大動作圧力 | 0.5Mpa | ||||
標準継手 | UJR"1/4メス | UJR"3/8メス | |||
接ガス部材質 | SUS316L(WEP仕様) | ||||
リークレート | 1 × 1010Pa・㎥/sec以下 | ||||
電源 | AC100又はAC200 | ||||
熱電対 | Kタイプ クラス2 | ||||
サーモスタット | ディスク型 | ブロック型 | ディスク型 | ブロック型 | ブロック型 |
本体外形寸法(H×W×D) | 75×75×98 | 96×102×128 | 125.5×100×115 | 155.5×130×145 | 178×150×165 |
本体重量 | 約1kg | 約1.2kg | 約2kg | 約2.3kg | 約4kg |
結線方法 | コネクタ取出し | リード線2m | コネクタ取出し | リード線2m | コネクタ取出し |
標準付属品 | ※1 | ※4 | ※2 | ※5 | ※3 |