ヒートエクスチェンジャー(WEX)

ガス加熱用ヒータ

  • ガス加熱用高効率ヒータ

    • 半導体・FPD製造用高純度ガス供給/加熱

    • 各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱

    • 熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適

  • 特 徴

    • フレキシブル×
    • 面状×
    • 真空対応×

    加熱対象

    • 配管・容器
    • 金属×
    • 液体×
    • 気体
ヒートエクスチェンジャー 4大特長

1、EP管のみを使用したクリーンな構造
・継手や配管など接ガス部はオールステンレス(SUS316L)製。
・被加熱ガスは、ヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。

2、小型・軽量で高効率
・本体最小サイズは□80mm×L102mm、本体重量は最小1.0kg~と小型・軽量。
・シリーズ化により最大流量100 L/min、最高300℃まで使用可能な製品をラインアップ。

3、熱電対、サーモスタットを標準装備
・温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。

4、入口/出口の継手は変更可能
・標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
・1/4~1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。

仕様

タイプSタイプMタイプLタイプ
WEX-S* -2*WEX-S* -3*WEX-M* -2*WEX-M* -3*WEX-L* -3*
加熱可能流体不活性ガス
最高使用温度200℃300℃200℃300℃300℃
定格流量〜10L/min〜50L/min〜100L/min
定格容量130W190W400W560W1300W
最大動作圧力0.5Mpa
標準継手UJR"1/4メスUJR"3/8メス
接ガス部材質SUS316L(WEP仕様)
リークレート1 × 1010Pa・㎥/sec以下
電源AC100又はAC200
熱電対Kタイプ クラス2
サーモスタットディスク型ブロック型ディスク型ブロック型ブロック型
本体外形寸法(H×W×D)75×75×9896×102×128125.5×100×115155.5×130×145178×150×165
本体重量約1kg約1.2kg約2kg約2.3kg約4kg
結線方法コネクタ取出しリード線2mコネクタ取出しリード線2mコネクタ取出し
標準付属品※1※4※2※5※3

※1 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2
※3 サーモ用コネクタ×1 電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2
※4 取付金具×1 外装パンチングメタルタイプ
※5 取付金具×2 外装パンチングメタルタイプ
  • アプリケーション例

  • Sタイプ図面

温度特性例

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