受託成膜サービス

受託成膜サービス

  • 実験・研究開発向け受託成膜サービス

    弊社相模原事業所内のALD成膜装置を使用した受託成膜サービスを開始致しました。ご要望の有機金属材料による小径サンプルへの成膜をお手伝いさせて頂きます。お客様立会いによるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる比較評価等、あらゆるニーズにお応え致します。また、成膜後の膜厚測定、膜質解析等、評価業務にもお応え致します。成膜サンプルはお客様による持ち込み、或いは弊社からのご提供も可能です。定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

    • 各種酸化膜・窒化膜の成膜に応じます。
      (Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2,TiN等)
      ※メタル膜等成膜種順次拡大中です。お問い合わせ下さい。
    • 各種TEGをご用意しております。
      (ベアウェーハ、L/S AR15/AR20 TSV等)
      単品での販売にも応じております。
    • 成膜可能サイズは2inchまでとなります。6inchシステムも順次整えておりますので詳しくはお問い合わせください。
    • 成膜後の解析評価(分光膜厚測定、エリプソ、SEM観察、TEM観察、FTIR、XPS等)もお受け致します。
    • 詳しくは弊社営業にお問い合わせください。

    • 弊社技術者が対応し、レシピ設計やパラメータ設定のサポートを致します。

    • 成膜サンプルはお持込み自由です。御希望により弊社在庫のテストウェーハチップや、L/Sパターンサンプル(有償)をご利用いただく事も可能です。

    • プリカーサのお持込みにも対応致します。ボトル仕様によっては搭載出来ない恐れがありますので、お持込みの際は事前にボトルサイズ等の仕様を開示頂きます様お願いします。

    • 弊社にて在庫しているプリカーサをご利用いただく事も可能です。また弊社にて在庫していないプリカーサもご用意できますのでお問い合わせください。

    • 御要望の評価内容により、フローの変更改造や補機、追加機器等の取付に対応致します。改造内容により都度見積となりますのでお問い合わせください。

    • SEM、TEM、STEM解析、分光エリプソメータ、EDS、XRR、XRD、FT-IR等、成膜評価も承ります。

    • 定期的な小Lot生産も承ります。

    • 受託費用に関するお問い合わせは弊社営業部担当までお問い合わせください。

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