実験・研究開発向けALD装置

• 2重構造チャンバ（特許出願中）によるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化

  • 外周部の大気遮断はSUS316を用いたチャンバ構造とし、プロセスエリアにはクォーツを用いた2重のチャンバ構造を備えます。プロセスガスはクォーツチャンバ内のみに接するので、余剰成膜物や堆積物はSUSチャンバ側へは殆ど生じません。また、クォーツチャンバは非常に簡単に脱着出来るので、洗浄等のメンテナンスを簡易に行う事が可能です。この構造によりメンテナンス負荷の低減と、ダウンタイムの短縮を図り、研究開発のタクトアップに貢献します。さらに、実効チャンバ内容積を大幅に低減する事が可能となり、デッドスペースの排除、到達時間の短縮につながっております。
  
  
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• 弊社の蓄積した熱ソリューションを集約し、最適な温度管理を実現

  従来から培って参りました弊社熱ソリューションを集約し、材料気化から排気まで、最適で安全な温度管理を実現しております。
  1) プリカーサボトルのマルチゾーンヒーティング
  プリカーサボトルに対して、内蔵するプリカーサの気化特性に合わせて、複数のゾーンに分けた加熱管理を行います。これによってプリカーサの熱分解リスクの低減と、バブリングを用いないパーティクルレス化、残留ガスの低減を実現しています。
  

  • 2) 供給・排気ラインの最適温度管理

    供給及び排気ラインへは、弊社独自開発のイージートレースヒータを搭載し、温度分布の改善と省スペース化によるコンパクト設計を実現しています。また加熱制御エリアを細分化、最適化し、無駄な加熱や堆積物の防止に努めるとともに、各制御エリアごとに独立した各種監視機能を備え、ヒータを要因とした事故災害を未然に防止します。

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  3) Hi-Watty（AlNヒータ）を採用したヒートステージ
  基板加熱を行うヒートステージには弊社製Hi-Wattyを搭載し、非常に速い昇温性能によって、プロセス開始までの準備時間を短縮しています。

  
  

  • 4) WEXによるキャリアガス、パージガス温度管理

    御好評を頂いている弊社オリジナル製品のWEX（ヒートエクスチェンジャー）をパージライン、キャリアラインに採用し、加熱ガスを供給する事によって温度低下の防止やミキシングガスの温度管理を行っています。弊社WEXは高いクリーン性能を誇り、供給ガスや材料の純度を損ないません。

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• 多様なカスタマイズと安全構造

  弊社成膜装置には仕様を固定したカタログモデルは御座いません。ベースモデルを基に都度お客様と仕様を詰め、ニーズにマッチした製品を提供させて頂きます。 安全仕様に付きましても、多彩なハードインターロック、ソフトインターロックによる監視により、お客様を始め装置の安全を見守ります。