真空用高精度ホットプレート

  • 〈 特徴 〉

    • 面内の温度分布を高精度に制御

    • 形状、サイズなどご相談に応じます

    • MAX400℃対応(アルミプレート)

  • 〈 特 徴 〉

    フレキシブル 面状 真空対応
    × ×

    〈 加熱対象 〉

    配管・容器 金属 液体 気体
使用例

クリーンルーム内で一貫生産(クラス100、1000)
CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、ベントライン設計・製造
多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承ります
短納期、少量製作にも対応致します

使用上の注意
  • 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
  • 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。

 

常圧用高精度ホットプレート

  • 〈 特徴 〉

    • ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力

    • 分割設計によりFPD G8サイズも
      高精度分布を実現

    • MAX400℃対応

  • 〈 特 徴 〉

    フレキシブル 面状 真空対応
    × ×

    〈 加熱対象 〉

    配管・容器 金属 液体 気体
使用例
  • 1、レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL)
  • 2、プローバ等の検査装置(BEOL)
  • 3、マスクガラス加熱用
使用上の注意
  • 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
  • 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。

 

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