真空用高精度ホットプレート

ホットプレート

    • 面内の温度分布を高精度に制御

    • 形状、サイズなどご相談に応じます

    • MAX400℃まで対応(Aℓプレート)

  • 特 徴

    • フレキシブル×
    • 面状×
    • 真空対応

    加熱対象

    • 配管・容器
    • 金属
    • 液体
    • 気体
使用例
  • 1、CVD
  • 2、ETCHING
  • 3、ASHING
使用上の注意
  • 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
  • 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。

 

常圧用高精度ホットプレート

ホットプレート

    • ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力

    • 分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現

    • MAX400℃まで対応

  • 特 徴

    • フレキシブル×
    • 面状×
    • 真空対応×

    加熱対象

    • 配管・容器
    • 金属
    • 液体
    • 気体
使用例
  • 1、レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL)
  • 2、プローバ等の検査装置(BEOL)
  • 3、マスクガラス加熱用
使用上の注意
  • 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
  • 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。

 

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