ベークユニット

ユニット

    • 枚葉式、多段式など用途に応じたご提案を致します

    • 試験・研究用の手動式から量産用の自動搬送機構付きユニットまで設計・製作

    • 基板サイズ、使用温度、均一性などお問合せ下さい

  • 特 徴

    • フレキシブル
    • 面状
    • 真空対応

    加熱対象

    • 配管・容器
    • 金属
    • 液体
    • 気体

ガス配管ユニット

ユニット

    • クリーンルーム内で一貫生産(クラス100、1000)

    • CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、ベントライン設計・製造

    • 多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ

    • 短納期、少量製作にも対応致します

仕様

製造環境クリーンルーム クラス100/1000
対応部品メーカフジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、タバイエステック、CKDほか多数
使用配管グレードSUS316L BA、EP(WEP)
対応配管径φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ
主要設備自動溶接機
シールドガスユニット
端面加工機
Heリークディテクター
パーティクルカウンター
マスフローチェッカー
チューブカッター
ファインカッター

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