〈 特 徴 〉
半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/
加熱
各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱
熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適
Sサイズ流量10L、Lサイズ流量100L、
使用温度300℃対応
フレキシブル | 面状 | 真空対応 |
× | × | × |
配管・容器 | 金属 | 液体 | 気体 |
○ | × | × | ○ |
1、S/M/LタイプはEP管を使用した構造
・継手や配管など接ガス部はオールステンレス(SUS316L)製。
・被加熱ガスはヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。
2、小型・軽量で高効率
・サイズ別に最適仕様を実現し最小流量10L/min~最大流量100L/min、最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。
3、熱電対、サーモスタットを標準装備
・ 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。
4、入口/出口の継手は変更可能
・ 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
・ 1/4~1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。
タイプ | Sタイプ | Mタイプ | Lタイプ | ||
---|---|---|---|---|---|
WEX-S* -2* | WEX-S* -3* | WEX-M* -2* | WEX-M* -3* | WEX-L* -3* | |
加熱可能流体 | 不活性ガス | ||||
最高使用温度 | 200℃ | 300℃ | 200℃ | 300℃ | 300℃ |
定格流量 | 〜10L/min | 〜50L/min | 〜100L/min | ||
定格容量 | 130W | 190W | 400W | 560W | 1300W |
最大動作圧力 | 0.5Mpa | ||||
標準継手 | UJR"1/4メス | UJR"3/8メス | |||
接ガス部材質 | SUS316L(WEP仕様) | ||||
リークレート | 1 × 1010Pa・㎥/sec以下 | ||||
電源 | AC100又はAC200 | ||||
熱電対 | Kタイプ クラス2 | ||||
サーモスタット | ディスク型 | ブロック型 | ディスク型 | ブロック型 | ブロック型 |
本体外形寸法(H×W×D) | 75×75×98 | 96×102×128 | 125.5×100×115 | 155.5×130×145 | 178×150×165 |
本体重量 | 約1kg | 約1.2kg | 約2kg | 約2.3kg | 約4kg |
結線方法 | コネクタ取出し | リード線2m | コネクタ取出し | リード線2m | コネクタ取出し |
標準付属品 | ※1 | ※4 | ※2 | ※5 | ※3 |
〈 特 徴 〉
UL499対応品 FileNo,E478998
流量10L/min ,200℃対応
K熱電対、サーモスタット標準装備
フレキシブル | 面状 | 真空対応 |
× | × | × |
配管・容器 | 金属 | 液体 | 気体 |
○ | × | × | ○ |
寸法 | 98mm×75mm×75mm |
---|---|
使用温度 | 200°C |
定格流量 | 10L/Min |
定格容量 | 130W |
温度センサ | K熱電対 |
過昇温防止 | サーモスタット付 |
重量 | 1000g~ |
UL499対応 | FileNo,E478998 |
〈 特 徴 〉
280g軽量かつ、手のひらサイズ以下の
超小型ガス加熱用ヒータ
低流量1~5L/min,250℃対応
K熱電対、サーモスタット、外装用断熱材
標準装備
フレキシブル | 面状 | 真空対応 |
× | × | × |
配管・容器 | 金属 | 液体 | 気体 |
○ | × | × | ○ |
寸法 | 70mm×32mm×42mm ※断熱材・配管除く |
---|---|
使用温度 | 250°C |
定格流量 | 1~5L/Min |
定格容量 | 140W(AC100Vor200V) |
温度センサ | K熱電対 |
過昇温防止 | サーモスタット付 |
外装断熱材 | マントル(マジックテープ止め) |
重量 | 280g~ |