ガス供給ユニット

  • 〈 特徴 〉

    • クリーンルーム内で一貫生産
      (クラス100、1000)

    • CVD、エッチング、アッシング装置の
      プロセスガス供給ライン、ベントライン
      設計・製造

    • 多様な配管材料、部品の溶接に対応する
      豊富なバックデータ

    • 溶接配管および特殊ガス用溶接配管の
      製作も承ります

    • 短納期、少量製作にも対応致します

仕様

製造環境クリーンルーム クラス100/1000
対応部品メーカフジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、タバイエステック、CKDほか多数
使用配管グレードSUS316L BA、EP(WEP)
対応配管径φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ
主要設備自動溶接機
シールドガスユニット
端面加工機
Heリークディテクター
パーティクルカウンター
マスフローチェッカー
チューブカッター
ファインカッター

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