ガス加熱用高効率ヒータシリーズ

ヒートエクスチェンジャー(WEX) S/M/L

  • 〈 特 徴 〉

    • 半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/
      加熱

    • 各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱

    • 熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適

    • Sサイズ流量10L、Lサイズ流量100L、
      使用温度300℃対応

  • 〈 特 徴 〉

    フレキシブル面状真空対応
    ×××

    〈 加熱対象 〉

    配管・容器金属液体気体
    ××
【ヒートエクスチェンジャー 特長】

1、S/M/LタイプはEP管を使用した構造
・継手や配管など接ガス部はオールステンレス(SUS316L)製。
・被加熱ガスはヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。

 

2、小型・軽量で高効率
・サイズ別に最適仕様を実現し最小流量10L/min~最大流量100L/min、最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。

 

3、熱電対、サーモスタットを標準装備
・ 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。

 

4、入口/出口の継手は変更可能
・ 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
・ 1/4~1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。

 

仕様

タイプSタイプMタイプLタイプ
WEX-S* -2*WEX-S* -3*WEX-M* -2*WEX-M* -3*WEX-L* -3*
加熱可能流体不活性ガス
最高使用温度200℃300℃200℃300℃300℃
定格流量〜10L/min〜50L/min〜100L/min
定格容量130W190W400W560W1300W
最大動作圧力0.5Mpa
標準継手UJR"1/4メスUJR"3/8メス
接ガス部材質SUS316L(WEP仕様)
リークレート1 × 1010Pa・㎥/sec以下
電源AC100又はAC200
熱電対Kタイプ クラス2
サーモスタットディスク型ブロック型ディスク型ブロック型ブロック型
本体外形寸法(H×W×D)75×75×9896×102×128125.5×100×115155.5×130×145178×150×165
本体重量約1kg約1.2kg約2kg約2.3kg約4kg
結線方法コネクタ取出しリード線2mコネクタ取出しリード線2mコネクタ取出し
標準付属品※1※4※2※5※3

※1 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ・電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2
  • アプリケーション例

  • Sタイプ図面

温度特性例

ガス加熱用高効率ヒータシリーズ

ヒートエクスチェンジャー(WEX) UL

  • 〈 特 徴 〉

    • UL499対応品 FileNo,E478998

    • 流量10L/min ,200℃対応

    • K熱電対、サーモスタット標準装備

  • 〈 特 徴 〉

    フレキシブル面状真空対応
    ×××

    〈 加熱対象 〉

    配管・容器金属液体気体
    ××

仕様

〇WEX-UL-S2-S(UL対応)

寸法98mm×75mm×75mm
使用温度200°C
定格流量10L/Min
定格容量130W
温度センサK熱電対
過昇温防止サーモスタット付
重量1000g~
UL499対応FileNo,E478998

ガス加熱用高効率ヒータシリーズ

ヒートエクスチェンジャー(WEX) SS

  • 〈 特 徴 〉

    • 280g軽量かつ、手のひらサイズ以下の
      超小型ガス加熱用ヒータ

    • 低流量1~5L/min,250℃対応

    • K熱電対、サーモスタット、外装用断熱材
      標準装備

  • 〈 特 徴 〉

    フレキシブル面状真空対応
    ×××

    〈 加熱対象 〉

    配管・容器金属液体気体
    ××

仕様

〇超小型WEX₋SS

寸法70mm×32mm×42mm ※断熱材・配管除く
使用温度250°C
定格流量1~5L/Min
定格容量140W(AC100Vor200V)
温度センサK熱電対
過昇温防止サーモスタット付
外装断熱材マントル(マジックテープ止め)
重量280g~

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