常圧用高精度ホットプレート
〈 特徴 〉
ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力
分割設計によりFPD G8サイズも
高精度分布を実現MAX400℃対応
〈 特 徴 〉
フレキシブル 面状 真空対応 × ○ × 〈 加熱対象 〉
配管・容器 金属 液体 気体 ○ ○ ○ ○
使用例
- 1、レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL)
- 2、プローバ等の検査装置(BEOL)
- 3、マスクガラス加熱用
使用上の注意
- 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
- 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。
真空用高精度ホットプレート
〈 特徴 〉
面内の温度分布を高精度に制御
形状、サイズなどご相談に応じます
MAX400℃対応(アルミプレート)
〈 特 徴 〉
フレキシブル 面状 真空対応 × ○ × 〈 加熱対象 〉
配管・容器 金属 液体 気体 ○ ○ ○ ○
使用例
クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000）
CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、ベントライン設計・製造
多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承ります
短納期、少量製作にも対応致します
使用上の注意
- 1、ヒータを取付ける際は被加熱面の油、汚れ等を拭き取り、接着面が空気だまりにならない様取付けて下さい。
- 2、ヒータ温度は使用条件(使用温度等)により変りますので、ヒータ表面温度が200℃を超える可能性のある場合には、ヒータ表面温度をコントロールしてご使用ください。