実験・研究開発向け受託成膜サービス

弊社相模原事業所内のALD装置を使用した受託成膜サービスをご提供致します。ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝いさせて頂きます。お客様立会いによるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる評価等、あらゆるニーズにお応え致します。成膜後の膜厚測定を致します。成膜サンプルはお客様による持ち込みをお願い致します。定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 各種酸化膜・窒化膜の成膜に応じます。
  (Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、HfO₂、RuO₂、SiO₂、TiN等)
  上記成膜アプリケーションを順次拡大中です。お問い合わせ下さい。
• 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300㎜の大きさまで対応可能です。
• 詳しくは弊社営業にお問い合わせください。

• 弊社技術者がレシピ製作やパラメータ設定のサポートを致します。

• 成膜サンプルは基本お持込み製作でお願いします。

• プリカーサのお持込みにも対応致します。ボトル仕様によっては搭載出来ない恐れがありますので、お持込みの際は事前にボトルサイズ等の仕様を開示頂きます様お願いします。

• 弊社にて在庫しているプリカーサをご利用いただく事も可能です。また弊社にて在庫していないプリカーサも有償にてご用意致しますのでお問い合わせください。

• 定期的な小Lot生産も承ります。

• 受託費用に関するお問い合わせは弊社営業部担当までお問い合わせください。