ガス供給ユニット
〈 特徴 〉
クリーンルーム内で一貫生産
（クラス100、1000）CVD、エッチング、アッシング装置の
プロセスガス供給ライン、ベントライン
設計・製造多様な配管材料、部品の溶接に対応する
豊富なバックデータ溶接配管および特殊ガス用溶接配管の
製作も承ります短納期、少量製作にも対応致します
仕様
| 製造環境 | クリーンルーム クラス100/1000 |
|---|---|
| 対応部品メーカ | フジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、タバイエステック、CKDほか多数 |
| 使用配管グレード | SUS316L BA、EP(WEP) |
| 対応配管径 | φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ |
| 主要設備 | 自動溶接機 |
| シールドガスユニット | |
| 端面加工機 | |
| Heリークディテクター | |
| パーティクルカウンター | |
| マスフローチェッカー | |
| チューブカッター | |
| ファインカッター |